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臭氧和有機物分子同時被吸附在催化劑表面(絡合物作用)，隨后二者發生反應。從還原態催化劑開始，臭氧會氧化金屬，臭氧在還原態金屬上的反應會生成OH，有機物會被吸附在被氧化過的催化劑上，然后通過電子轉移反應被氧化，再次產生還原態的催化劑，有機物會很容易從催化劑上解吸(脫附)，然后進入本體溶液，被臭氧和OH氧化。**的臭氧催化劑，可提高羥基自由基的產生量達100-300%，大幅增強臭氧氧化利用率(98%)以上。
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